LS-611/HMDS 헥사메틸디실라잔 (HMDS)
CAS NO. 999-97-3
칩 포토리소그래피 공정에서 점착기 및 포토레지스트로 사용되는 포토레지스트는 리튬 배터리 전해질의 안정제로 사용되며 리튬 이온 배터리의 전기 화학적 성능과 사이클 성능을 향상시킬 수 있으며, 그리고 의료 사용.